4-й разряд Характеристика работ. Ведение элионного процесса обработки (легирования, микрофрезерования, микросварки, резки, создания р-п переходов) на установках специализированного типа. Подготовка установок к процессу обработки, включение форвакуумных насосов; вывод высоковакуумных агрегатов в рабочий режим, включение вспомогательного электрического оборудования, загрузка контейнера с обрабатываемым материалом (пластинами) в приемное устройство; подготовка и включение ионного (электронного) источника. Контроль за работой оборудования с помощью контрольно - измерительных приборов и поддержание заданных режимов обработки. Ведение рабочего журнала. Подналадка отдельных простых и средней сложности узлов и механизмов установок под руководством оператора более высокой квалификации. Содержание установок в технически исправном состоянии. Должен знать: устройство, принцип действия и правила обслуживания установок специализированного типа; основные законы электротехники и основы вакуумной техники в пределах выполняемой работы; особенности работы с высоковольтным оборудованием; методы и способы контроля элионного процесса обработки и системы вакуума в установке; инструкцию по эксплуатации установки, характерные неисправности и методы их устранения. 5-й разряд Характеристика работ. Ведение элионного процесса обработки (легирование, микрофрезерование, микросварка, резка, создание р-п переходов и т.д.) на установках универсального типа и на установках с программным управлением. Настройка установок на заданный технологический режим. Выявление, определение величины и устранение вакуумных течей. Ремонт и наладка различной сложности узлов и механизмов установок. Должен знать: кинематическую и электрическую схемы установок универсального типа; назначение и устройство контрольно - измерительных приборов; правила и методы наладки установок на заданный режим; правила настройки приборов для контроля процесса обработки; основные методы подготовки и ввода информации в вычислительную машину для управления технологическим процессом; способы устранения неисправностей в процессе работы установок; основы электротехники и вакуумной техники. 6-й разряд Характеристика работ. Ведение элионного процесса обработки (легирование, микрофрезерование, микросварка, резка, создание р-п переходов и др.) на экспериментальных и опытных установках. Выбор технологических режимов и настройка отклоняющей (управляющей) системы на различные рабочие режимы обработки; определение причин отклонения от заданных режимов обработки и их устранение. Ремонт и наладка сложных узлов и механизмов всех типов. Руководство работой операторов более низких разрядов. Должен знать: конструкцию, правила проверки и настройки установок всех типов и особенности их эксплуатации; физические основы элионных процессов обработки; правила выбора оптимальных режимов работы установок. Требуется среднее профессиональное образование.